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Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器 參數(shù)0.5sccm – 6000 slm 全量程 Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器采用無(wú)熱漂移，無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，無(wú)熱漂移，可以忽略的溫移和時(shí)漂，長(zhǎng)期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準(zhǔn)確度1.0%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無(wú)需標(biāo)定，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時(shí)，還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。
Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器與熱式流量計(jì)不同，當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí)，Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器沒(méi)有附加的“比熱容"誤差。所以，即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同，也不會(huì)影響測(cè)量精度。
標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)(有關(guān)選配項(xiàng)，請(qǐng)聯(lián)系Grylls） | |
產(chǎn)品性能參數(shù) | Grylls6600系列差壓式質(zhì)量流量控制器 |
精度（調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下） | ± 1%Full Scale |
傳感器響應(yīng)時(shí)間 | <1 ms |
重復(fù)性 | ± 0.2%Full Scale |
零點(diǎn)漂移和滿量程漂移 | 0.2%Full Scale / oCelsius / Atm |
工作范圍和量程比 | 2% to 100% Full Scale / 50:1 (100:1 optional) |
最大可控流量 | 100% Full Scale |
最大可測(cè)流量 | 100% Full Scale |
典型響應(yīng)時(shí)間 | <100 ms |
壓力精度（大于1大氣壓時(shí)） | ±0.6% of reading |
壓力精度（小于1大氣壓時(shí)） | ±0.1 PSIA |
溫度精度 | ±0.75°C |
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